(1)儀表使用時,使用環(huán)境應滿足說明書中規(guī)定的環(huán)境條件和使用攏術規(guī)定,流ZUI大值應在所選儀表程的規(guī)定范圍內(nèi)。

(2)為了保證 MFM/MFC可緣工作和維護使用方便,儀表使用時應配套安裝適當截止、過濾器,干燥器、單向、減壓器和背壓等。

(3)由于該儀表容易發(fā)生堵塞現(xiàn)象,所以使用中要經(jīng)常啟用“清洗”過程和定期清洗配套過濾器。

(4)使用中進行“清洗”操作時,“清洗”結東,不要直接轉入“閥控”位,應先置于“關閉位覺,然后,再轉至“控”位。

(5)對于反應系統(tǒng),建議在 MFM/MFC入口處加裝過濾器,出口端加裝單向?qū)?以防止異常情況發(fā)生時,液體反應物倒流至儀表內(nèi)使其損壞。

(6)對于常壓系統(tǒng),一般選擇減壓器和過濾器與其配套,以便保證儀表可運行和控精度。

(7)對于高壓系統(tǒng),應在 MFM//MFC的上游加裝減壓閥、過濾器,下游加裝背壓閿(或其他節(jié)流裝)及壓力表,以便保證 MFM/MFC應有的工作壓差。

(8)對于硅烷這樣的遇空氣易形成結晶的氣體,應特別注意系統(tǒng)的密閉性(檢漏時,不要忽視減壓器),必要時設計上吹洗旁路,以便進行氮氣吹洗或正壓保待。

(9)對有高頻源的系統(tǒng),應注意屏慧,并做好接地,一般選擇單點接地為宜。

(10)對于高真空系統(tǒng),應盡量減少氣略接頭,對須有的接頭,要嚴格密封或采用VCR等接頭

(11)對于 MFM/MFC的安裝位置,應盡景選擇水平位置、并且安裝面要水平、安裝位置要易于裝卸、檢、調(diào)零。安裝時要盡量避免受到撞擊,安裝固定要安全可靠。

(12)使用中,如果工藝系統(tǒng)復雜或使用特殊氣體,儀表的測控系統(tǒng)啟用應建立專用的操作規(guī)程。

(13)使用中若發(fā)現(xiàn)儀表零點偏移時、可通過外罩上的調(diào)零孔調(diào)整,也可揭開外罩調(diào)整,但量程調(diào)整電位器不得輕易調(diào)整。

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